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坩埚在炉内有效行程 | 400mm |
| 下 传 动 | 坩埚转速范围 | 1.0~20.0rpm |
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慢速：0.020~1.000mm/min |
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坩埚升速 | 快速：＞100mm/min |
| 动 态 精 度 | 埚升速度精度 | ＜2% |
| 埚转速度精度 | ＜2% | |
| 埚升爬行 | 升速0.05mm/min时≤0.01mm | |
| 运行时坩埚杆顶端圆跳动 | ≤0.02mm |
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坩埚在炉内有效行程 | 400mm |
| 下 传 动 | 坩埚转速范围 | 1.0~20.0rpm |
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慢速：0.020~1.000mm/min |
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坩埚升速 | 快速：＞100mm/min |
| 动 态 精 度 | 埚升速度精度 | ＜2% |
| 埚转速度精度 | ＜2% | |
| 埚升爬行 | 升速0.05mm/min时≤0.01mm | |
| 运行时坩埚杆顶端圆跳动 | ≤0.02mm |
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